工作时间:08:30~18:00
13622338365

Watty气体加热器为你在半导体/FPD制造用超高纯度气体供给/加热中保驾护航

 半导体/FPD制造中超高纯度气体的供给与加热是确保产品质量和性能的关键步骤。

一、超高纯度气体的供给

在半导体/FPD制造过程中,超高纯度气体(Ultra-High Purity Gas,简称UHP Gas)的供给是至关重要的。这些气体主要用于保护半导体/FPD材料免受大气中的杂质和污染物的侵害,保证产品的纯净度和性能。超高纯度气体通常指的是经过特殊处理,去除了几乎所有杂质和掺杂物的气体,其纯度通常达到ppb(10^-9)或更高级别。

供给过程中,需要特别关注以下几个方面:

  1. 气体种类:半导体/FPD制造中常用的超高纯度气体包括氮气、氧气、氩气、氢气等。这些气体在制造过程中具有不同的用途,如清洗、保护、反应等。
  2. 纯度要求:由于半导体/FPD材料对杂质极为敏感,因此超高纯度气体的纯度要求极高。不同的工艺阶段对气体纯度的要求也不同,需要根据实际情况进行选择。
  3. 气体输送:超高纯度气体的输送通常采用专用的管道系统,确保气体在输送过程中不受污染。同时,需要定期检查和清洗管道系统,防止杂质积累。

二、超高纯度气体的加热

在半导体/FPD制造中,超高纯度气体的加热通常用于满足特定工艺需求,如气相沉积、掺杂等。加热过程中,需要关注以下几个方面:

  1. 加热设备:Watty气体加热器特别适用于半导体、FPD制造过程以及各种分析装置中的超高纯度气体供给与加热,确保了生产过程的精确性和产品的高质量。提供S、M、L三种不同流量规格的产品,流量范围从小到10L,大到100L,满足不同生产需求。
  2. 温度控制:加热过程中需要精确控制温度,以防止过热或过冷对产品质量造成影响。Watty气体加热器具有较宽的温度范围,可以快速升温至所需温度,确保半导体/FPD制造过程的高效进行。
  3. 安全性:加热过程中需要注意安全问题,如防止气体泄漏、防止火灾等。因此,需要选择符合安全标准的加热设备,并定期检查和维护设备。Watty气体加热器配备热电偶和恒温器,实现精确的温度控制和过热保护,确保生产过程的安全稳定。

       半导体/FPD制造中超高纯度气体的供给与加热是确保产品质量和性能的关键步骤。在实际操作中,需要根据具体情况选择合适的设备和工艺参数,确保产品质量和安全。